為落實(shí)國家及省關(guān)于促進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的決策部署，提升產(chǎn)業(yè)核心競爭力，根據《廣東省加快半導體及集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的若干意見(jiàn)》(粵府辦〔2020〕2號)，擬安排省級財政資金支持公共服務(wù)平臺和創(chuàng )新平臺項目建設?，F將有關(guān)事項通知如下：

　　一、重點(diǎn)支持方向

　　重點(diǎn)支持企業(yè)、事業(yè)單位、高校、科研機構等法人實(shí)體投資建設的半導體及集成電路領(lǐng)域公共服務(wù)和創(chuàng )新基礎設施，主要包括：

　　(一)芯片設計服務(wù)平臺和創(chuàng )新平臺。芯片設計服務(wù)平臺，向社會(huì )提供EDA工具服務(wù)、MPW(多項目晶圓加工)服務(wù)、設計外包服務(wù)、測試驗證服務(wù)、IP分析交易服務(wù)、人才培訓服務(wù)等。芯片設計工具軟件研發(fā)和測試平臺，開(kāi)展EDA(電子設計自動(dòng)化)工具軟件研發(fā)測試，開(kāi)展EDA云上架構和應用AI技術(shù)研發(fā)，開(kāi)展TCAD、封裝EDA工具開(kāi)發(fā)等。芯片設計研發(fā)、模擬仿真和測試平臺。開(kāi)展底層算法與架構技術(shù)研發(fā)，開(kāi)展通用芯片、專(zhuān)用芯片研發(fā)、模擬仿真和測試。

　　(二)芯片產(chǎn)品檢測認證平臺。向社會(huì )提供部件及終端產(chǎn)品模擬、測試驗證、產(chǎn)品質(zhì)量測評、環(huán)境適應性評價(jià)、安全可靠性認證等服務(wù)。

　　(三)芯片生產(chǎn)制造關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)、中試和測試平臺。開(kāi)展FinFET特色工藝制程、先進(jìn)工藝制程開(kāi)發(fā)，探索開(kāi)展FDSOI等新技術(shù)路徑開(kāi)發(fā)。

　　(四)先進(jìn)封裝測試研發(fā)和工程化驗證平臺。開(kāi)展晶圓級封裝、系統級封裝、凸塊、倒裝、硅通孔、面板級扇出型封裝、三維封裝、真空封裝等先進(jìn)封裝技術(shù)，以及脈沖序列測試、MEMS探針、IC集成探針卡等先進(jìn)晶圓級測試技術(shù)開(kāi)發(fā)，開(kāi)展超高速光通信核心器件與模塊封測技術(shù)開(kāi)發(fā)等。

　　(五)關(guān)鍵材料與器件研發(fā)及工程化驗證平臺。開(kāi)展氮化鎵、碳化硅、氧化鋅、氧化鎵等化合物半導體材料、器件和模塊的開(kāi)發(fā)，開(kāi)展氟聚酰亞胺、光刻膠等電子化學(xué)品材料以及納米級陶瓷粉體、微波陶瓷粉體等元器件關(guān)鍵材料研發(fā)。

　　(六)芯片生產(chǎn)制造關(guān)鍵設備及零部件研發(fā)及工程化驗證平臺。開(kāi)展光學(xué)和電子束光刻機關(guān)鍵部件、先進(jìn)封裝技術(shù)專(zhuān)用設備研發(fā)，開(kāi)展缺陷檢測設備、激光加工設備、半導體器件巨量組裝設備等整機設備研發(fā)，以及高精密陶瓷零部件、射頻電源、高速高清投影鏡頭等設備關(guān)鍵零部件研發(fā)。

　　(七)新一代半導體及集成電路綜合研發(fā)平臺。圍繞工具軟件、芯片架構、芯片設計、特色工藝制程、半導體新材料、生產(chǎn)設備核心部件等環(huán)節，開(kāi)展關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)，積極開(kāi)展混合集成、異構集成等技術(shù)研發(fā)，加強多種技術(shù)路線(xiàn)探索。

　　一個(gè)平臺項目可包括上述多個(gè)方向。

　　二、申報條件

　　(一)承擔單位應在廣東省內注冊，具有獨立法人資格。

　　(二)已被有關(guān)部門(mén)認定為國家級、省級平臺。

　　(三)項目建設周期不超過(guò)三年，已完成的固定資產(chǎn)投資權屬清晰，形象進(jìn)度不超過(guò)50%。

　　(四)建設項目要有明確可行的發(fā)展思路和建設目標，投資方案合理，管理和運行機制規范。

　　(五)項目申報時(shí)應完成項目備案等立項手續，同時(shí)加快環(huán)評、城鄉規劃、用地審批等工作進(jìn)度，確保投資計劃下達前完成前期工作。

　　(六)項目承擔單位要對申報材料的真實(shí)性負責，并出具承諾書(shū)，承諾其所報材料尤其是投資規模的真實(shí)性，承擔因上報虛假信息造成的相應后果，如取消申報資格、納入失信名單等。

　　三、申報程序

　　(一)編制資金申請報告。資金申請報告應包括以下內容：承擔單位基本情況、國家級省級平臺認定文件、項目投資建設方案、固定資產(chǎn)投資明細、項目資金籌措方案、自有資金來(lái)源憑證、申請補助資金額度、補助資金使用計劃、與申報投資規模相匹配的績(jì)效目標表等。

　　(二)組織申報。項目承擔單位為中央直屬單位、省屬單位的的，可直接向省發(fā)展改革委申報;項目承擔單位為其他類(lèi)型的，由各地級以上市發(fā)展改革部門(mén)匯總后向省發(fā)展改革委申報。

　　四、支持方式

　　省發(fā)展改革委將組織專(zhuān)家或委托有關(guān)單位，綜合采用書(shū)面評審、答辨、考察等方式進(jìn)行評估，對通過(guò)評估的項目，視年度資金安排給予支持。

　　廣東省發(fā)展改革委

　　2020年10月15日